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工程案例

CASE

半導體外延晶片十級超潔凈廠房建設案例

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電子光學廠房凈化車間工程解決方案

合景凈化工程公司是電子與光學潔凈室工程建設行業(yè)標桿企業(yè)，光學與光電行業(yè)巨頭蔡司、錦富技術等知名企業(yè)的多年戰(zhàn)略合作建造商。專業(yè)提供電子光學項目的咨詢、規(guī)劃、設計、采購到建造一站式服務半導體材料、半導體制造、芯片制造、封裝測試、印制電路板（PCB）、功率器件、光電子器件、傳感器、LED外延片、光學鏡片、單多晶硅、TFT-LCD、AM-OLED、PM-OLED、Micr OLED等工程總承包、機電、潔凈、純廢水、大宗氣體/特殊氣體、工藝管道、二次配等專業(yè)EPC總承包全過程服務。

電子生產(chǎn)車間

裝配車間

FPC車間class 10k凈化車間

裝配車間class 10k無塵車間

千級無塵車間

組裝車間class 10k無塵車間

LED分光車間

測試車間

千級無塵車間

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QUALITY

潔凈度測試

FFU測試

靜壓測試

照明度測試

溫濕度測試

防靜電測試

電子廠房潔凈度測試

（制造產(chǎn)品不同，要求也不同；合景凈化工程公司提醒：以下為參考，非標準）

潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其他測試對潔凈度影響不大，或是屬于其他環(huán)境測試。

測試儀器：潔凈度測試使用微粒計數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內及均須檢附合格之校正檔。	潔凈度等級定級的粒徑范圍0.1~5.0μm。
測試步驟：確定采樣點數(shù)量、繪制采樣點布置圖、確定測試儀器和采樣量、現(xiàn)場采樣、數(shù)據(jù)計算分析。	每個采樣點最少采樣時間為1分鐘，且采樣量應按照采用設備為準取值。
信賴度上限：任一無塵室或獨立的隔間，若是取樣點數(shù)小于10（2到9），每一取樣點的平均值代表該點的微粒量測值。

電子廠房FFU測試

（制造產(chǎn)品不同，要求也不同；合景凈化工程公司提醒：以下為參考，非標準）

FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。足夠的風速與風量是潔凈度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。

檢查空氣管和探頭有沒堵塞。	將探頭的支撐腳緊貼于FFU表面、穩(wěn)定。
由于是壓差式風速計，因此讀數(shù)時注意空氣管不可被擠壓，不可晃動。	每片F(xiàn)FU測量兩點，計算平均值。
要求FFU風速上下相差不可大于20%。

電子廠房靜壓測試

（制造產(chǎn)品不同，要求也不同；合景凈化工程公司提醒：以下為參考，非標準）

靜壓差的測定應在潔凈室（區(qū)）的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行，并應在所有的門關閉時檢測。	儀器宜采用各種微差壓力計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。
級別不同的潔凈室區(qū)域與非潔凈室區(qū)域之間的靜壓差，不小于5Pa。	潔凈室與室外的靜壓差，不應小于10Pa。
打開空氣潔凈度等級高于百級的單向流潔凈室門時，門內0.6米的室內工作區(qū)含塵濃度不應大于相應級別的含塵濃度限值。

電子廠房照明度測試

（制造產(chǎn)品不同，要求也不同；合景凈化工程公司提醒：以下為參考，非標準）

潔凈車間照明亮度標準與普通室內要求不同，所有照明燈具均要求符合《潔凈室工程施工與驗收》標準,燈具必須帶有機玻璃或者其他材質的透明燈罩，照明燈具周邊具有不產(chǎn)塵、不集塵等特點。

照度的測定要求室內照度的測定必須在室溫穩(wěn)定，光源光輸出穩(wěn)定后再進行測定。	照度的測定方法:第一，照度的測點應距離地面0.85m，按間距1~2m布點，測點距離墻1m。第二，記錄實測值并計算總的平均照度。第三，照度測定一般是不含局部照明以外的一般照明。
合格標準: 應符合設計要求，根據(jù)(潔凈廠房設計規(guī)范)的要求，潔凈室內一般照明的均勻度不應小于0.7。

電子廠房溫濕度測試

（制造產(chǎn)品不同，要求也不同；合景凈化工程公司提醒：以下為參考，非標準）

潔凈車間濕度的基本工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求。濕度過大會使許多物質發(fā)生化學反應，從而影響產(chǎn)品質量，甚至使設備失效，產(chǎn)品報廢。濕度過低又會使許多物質脫水變形，失去原有的功能。

凈化車間內的空氣環(huán)境溫度和相對濕度在檢測之前，凈化空調系統(tǒng)必須持續(xù)運作起碼12個小時以上。	依據(jù)環(huán)境溫度和相對濕度波動范圍，檢測宜持續(xù)開展8-48小時，每一次檢測間隔時間不可超出30分鐘。
凈化車間內的測點通常應布置在距外墻表面層超出0.5米、距地0.8米的相同高度上；也可依據(jù)區(qū)域大小，各自布置在距地不一樣高度的多個平面上。